等离子刻蚀机(等离子刻蚀机原理) 等离子的原理刻蚀原理等离子的原理等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型的等离子的组成是,电子、离子、自由基和质子。就好象把固体转变成气体需要能量一样,产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)混合组成。离子体能够导电,和电磁力...